[1]
Дядюн, К.В. 2021. СИСТЕМА РЕГУЛЮВАННЯ МАСОВОГО БАЛАНСУ ГАЗІВ‑РЕАГЕНТІВ В ПРОЦЕСІ УТВОРЕННЯ ІОНО-ПЛАЗМОВИХ ПОКРИТТІВ . Наукові записки Малої академії наук України. 1(17) (Лип 2021), 67–75. DOI:https://doi.org/10.51707/2618-0529-2020-17-08.