ДЯДЮН, К. В. . СИСТЕМА РЕГУЛЮВАННЯ МАСОВОГО БАЛАНСУ ГАЗІВ‑РЕАГЕНТІВ В ПРОЦЕСІ УТВОРЕННЯ ІОНО-ПЛАЗМОВИХ ПОКРИТТІВ . Наукові записки Малої академії наук України, [S. l.], n. 1(17), p. 67–75, 2021. DOI: 10.51707/2618-0529-2020-17-08. Disponível em: http://snman.science/index.php/sn/article/view/47. Acesso em: 28 лис. 2021.